全氟醚橡膠是由TFE(主鏈)、PMVE(支鏈)及架橋部所構(gòu)成，它不僅具有像PTFE一樣優(yōu)異耐高溫，耐化學(xué)腐蝕的性能(可耐1600余種化學(xué)品的腐蝕)，還兼?zhèn)淞讼鹉z的彈性，其在300℃時(shí)的壓縮變形率也僅在50%以下。普通全氟橡膠工作溫度范圍為-25℃~+240℃間，Kalrez7075耐高溫可達(dá)327℃，即使當(dāng)暴露在316℃的恒溫中或像343℃這樣的間歇高溫環(huán)境中，Kalrez制作也不會發(fā)生導(dǎo)致密封失效的硬化和脆化，Kalrez在與侵蝕性流體的浸漬直接接觸中依然能保持其彈力和回彈性能。事實(shí)上，Kalrez的熱穩(wěn)定性往往超過了那些流體本身。全氟橡膠還具有優(yōu)異的氣密性(耐真空度可達(dá)1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高潔凈性以及耐離子體性,這些特點(diǎn)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用也非常廣泛.

　　全氟橡膠 FFPM

　　(Perfluoroelastomer) 優(yōu)點(diǎn)：

　　最佳耐熱特性

　　優(yōu)異的抗化學(xué)特性

　　低Outgassing 特性

　　優(yōu)異之抗Plasma特性

　　缺點(diǎn)：

　　耐低溫特性較差

　　原料價(jià)格較高

　　生產(chǎn)難度較高

　　適用范圍:

　　全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。

　　硅氟橡膠

　　FLS

　　(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡膠為硅橡膠經(jīng)氟化處理，其一般性能兼具有氟橡膠及硅橡膠的優(yōu)點(diǎn);其耐油、耐溶劑、耐燃料油及耐高低溫性均佳，一般使用溫度為 -50~200 ℃。

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　適用于特別用途，如要求能抗含氧的化學(xué)物、含芳香氫的溶劑及含氯的溶劑的侵蝕。

　　缺點(diǎn)：

　　不建議暴露于煞車油，酮類及胼的溶液中 ? 太空機(jī)件上。